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感光性树脂组合物、镀敷方法及金属图案的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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感光性树脂组合物、镀敷方法及金属图案的制造方法.pdf

    本发明以提供感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法为课题，对于该感光性树脂组合物而言，即使在窄间距的抗蚀剂图案中也容易进行抗蚀剂剥离，并且在图案形成或镀敷工序中，微细的线或点可稳定地保持在基材上，具有高分辨性；通过以下感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法及金属图案的制造方法而解决上述课题；该感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂及(C)丙烯酸酯单体，相对于(C)丙烯酸酯单体，(D)甲基丙烯酸酯单体的含有率为0质量％～5质量％，作为(C)丙烯酸酯单体含

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112470075 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980048740.3 梶谷邦人　 (22)申请日 2019.07.29

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