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RF能量放射装置.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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RF能量放射装置.pdf

    RF能量放射装置具备用于载置加热对象物的腔室、RF信号产生部、RF放大部、放射元件、温度传感器和控制部。RF信号产生部振荡出RF信号。RF放大部放大RF信号并输出RF能量。放射元件向腔室内放射RF能量。温度传感器配置在RF放大部的附近。控制部控制RF放大部根据温度传感器的检测温度和多个阈值水平来调整RF能量的输出。根据本方式，能够提高装置的可靠性。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112470550 B (45)授权公告日 2023.04.04 (21)申请号 201980048574.7 (72)发明人 高野伸司　平本雅祥　

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