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光刻制程的方法及其板材定位装置.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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光刻制程的方法及其板材定位装置.pdf

    本发明提供一种光刻制程的方法及其板材定位装置，其中该承载平台的定位座板系先吸附预设板材形成定位后，再利用抵持阶板吸附底片光罩，使底片光罩可贴合于预设板材的上方表面，再通过曝光模块照射曝光，将底片光罩上的图案成型于预设板材的表面，使进行后续曝光处理作业时不会产生斜光，达到供预设板材密合定位于底片光罩表面，以解决曝光处理作业时成型效果不佳的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112462575 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 20191

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