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一种纯镁表面的多层致密复合膜及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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一种纯镁表面的多层致密复合膜及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种纯镁表面的多层致密复合膜及其制备方法，多层致密复合膜由二氧化钛膜和钽膜组成，制备方法包括如下：(1)将纯镁置于磁控溅射炉载物台上，安装靶材，然后抽真空和通入氩气，再对纯镁预溅射；(2)打开射频电源和金属氧化物靶挡板，溅射金属氧化物后，关闭电源和挡板；(3)打开直流电源和钽靶挡板，调整直流功率，溅射钽后，关闭电源和挡板；(4)重复步骤(2)‑步骤(3)。本发明以二氧化钛为中间层，利用磁控溅射制备二氧化钛‑钽复合膜，外层钽膜具有较好的生物学性能，可以直接和体内环境接触，内层氧化物膜具

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115807208 A (43)申请公布日 2023.03.17 (21)申请号 202211507853.5 (22)申请日 2022.11.25 (71)申请人 南京信息工程大学

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