用于生长半导体晶片的装置和相关联的制造方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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用于生长半导体晶片的装置和相关联的制造方法.pdf

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本公开的实施例涉及用于生长半导体晶片的装置和相关联的制造方法。一种用于生长特别是碳化硅的半导体晶片的装置，其中腔室容纳收集容器、以及被布置在容器之上的支撑件或衬托器。支撑件由围绕开口的框架形成，该开口接纳多个臂和座。框架具有彼此相对的第一表面和第二表面，其中框架的第一表面面对支撑件。臂由从框架延伸到开口中的悬臂杆形成，臂具有比框架小的最大高度，并且在顶部具有搁置边缘。臂的搁置边缘限定了搁置表面，该搁置表面在比框架的第二表面低的水平处。座具有由搁置表面形成的底部。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112447581 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202010915041.9 C30B 25/08 (2006.01)