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能量存储装置.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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能量存储装置.pdf

    公开了用于制造能量存储装置的方法。这样的方法包括在基底的第一侧上提供第一堆叠并且在基底的与基底的第一侧相反的第二侧上提供第二堆叠。在示例中，第一凹槽和第三凹槽以彼此不同的深度形成在第一堆叠中，并且第二凹槽和第四凹槽以彼此不同的深度形成在第二堆叠中。在其他示例中，第一凹槽形成在第一堆叠中，第二凹槽形成在第二堆叠中，与第一凹槽基本对准，但是具有与第一凹槽不同的深度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112470312 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980048231.0 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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