具有混合氧化物钝化层的磁性传感器.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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具有混合氧化物钝化层的磁性传感器.pdf

本公开的各方面包含具有混合氧化物钝化层的磁性传感器装置。根据某些实施例的磁性传感器装置包含磁性传感器元件和钝化层,所述钝化层具有氧化锆、氧化铝和氧化钽中的两种或更多种。还提供了具有封装钝化层的磁性传感器装置。根据某些实施例的磁性传感器装置包含衬底、磁性传感器元件和封装所述磁性传感器元件的钝化层。描述了用于制造具有钝化层的磁性传感器的方法。还描述了用于检测样品中的一种或多种分析物的方法和系统。各方面进一步包含具有本主题磁性传感器装置和磁性标签中的一个或多个的试剂盒。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112469997 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980048500.3 (74)专利代理机构 北京弘权知识产权代理事务

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