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本发明涉及一种微纳金属三维结构的制备方法，包括：在衬底上由下至上形成N层金属结构层，所述金属结构层包括图形化的第一金属层和第二金属层，所述第一金属层与所述第二金属层的材料不同；去除每层金属结构层中的所述第一金属层或第二金属层，获得微纳金属三维结构；其中，所述每层金属结构层的形成步骤如下：形成光敏材料层；在所述光敏材料层的预设区域进行固化处理，形成图形化的掩膜，去除未经固化处理的所述光敏材料层；在去除未经固化处理的所述光敏材料层的区域形成第一金属层，并去除所述掩模；在去除所述掩模的区域形成第二金属
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112441555 A
(43)申请公布日
2021.03.05
(21)申请号 20191
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