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本发明提供一种电路组件，用于检测半导体工艺设备中下电极上的脉冲调制信号，电路组件包括射频信号检波电路，射频信号检波电路用于将脉冲调制信号转化为调制前的脉冲信号，并检测脉冲信号得到检测脉冲信号，电路组件还包括检波结果处理电路组，检波结果处理电路组能够将检测脉冲信号每个周期内的信号幅值调整为检测脉冲信号在对应周期内出现的最高幅值对应的表征幅值。在本发明中，检波结果处理电路组能够将检测脉冲信号转换为与脉冲信号峰值实时对应的直流信号，从而能够实时、准确地检测工艺腔室中的反应参数。本发明还提供一种信号检测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112468118 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 202011286708.X
(22)申请日 2020.11.17
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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