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衬底输送设备.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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衬底输送设备.pdf

    一种衬底处理设备，包括框架和连接到框架的输送设备。该输送设备具有上臂连杆、绕肘部轴线可旋转地联接到上臂连杆的前臂连杆、绕腕部轴线可旋转地联接到前臂的至少第三臂连杆、以及绕关节轴线可旋转地联接到第三臂连杆的末端执行器。二自由度驱动系统可操作地连接到所述上臂连杆、所述前臂连杆和所述第三臂连杆中的至少一个，以实现所述末端执行器的延伸和缩回，其中所述末端执行器的高度在所述腕部轴线的堆叠高度轮廓内，使得所述末端执行器和所述腕部轴线的总堆叠高度被定尺寸成符合在槽阀的穿通部内。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112470266 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980050938.5 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公

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