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一种器件包含:包含第一导电材料的底部电极;底部电极上方的介电层;介电层上方的内部金属层;内部金属层上方的铁电层;以及铁电层上方的顶部电极,顶部电极包含第二导电材料,顶部电极的面积小于内部金属层的面积。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112447901 A
(43)申请公布日
2021.03.05
(21)申请号 20201
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