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进行处理装置的检查的系统和检查方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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进行处理装置的检查的系统和检查方法.pdf

    本发明提供一种进行处理装置的检查的系统和检查方法，能够判定处理装置的异常。进行处理装置的检查的系统具备：温度调整机构，其调整处理装置的处理室内的部件温度；光源，其产生测定光；多个光学元件，在温度调整机构对部件进行温度调整的期间，所述多个光学元件将通过光源产生的测定光作为出射光射出至处理装置的处理室内的部件，并且反射光射入所述多个光学元件；以及控制部，其基于反射光，针对与光学元件对应的每个测定部位测定部件温度，基于测定部位的部件温度的各温度的比较来判定处理装置的异常。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112461121 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202010875893.X (22)申请日 2020.08.27 (30)优先权数据 2019-1630

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