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一种高精度激光清洗以及清洗质量在线监测的装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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一种高精度激光清洗以及清洗质量在线监测的装置及方法.pdf

    本发明公开了一种高精度激光清洗以及清洗质量在线监测的装置，包括包括XY轴平台、激光清洗头、电阻探针阵列、电阻测量仪、探针高度自适应调整单元和工作站。本发明对待清洗工件上的每一个部位清洗情况进行检测，使得实时检测结果受环境影响小、测量准确度高，对清洗效果较差的位置进行准确定位，保证清洗效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112452945 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202010890129.X (22)申请日 2020.08.28 (71)申请人 武汉

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