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操作沉积设备的方法和沉积设备.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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操作沉积设备的方法和沉积设备.pdf

    提供了一种操作沉积设备之方法。所述方法包括：通过从蒸发源(20)的一个或多个出口(22)导引蒸发的源材料朝向基板(10)而在基板(10)上沉积蒸发的源材料，其中部分的蒸发的源材料由屏蔽装置(30)阻挡并且附接于所述屏蔽装置，所述屏蔽装置布置在一个或多个出口(22)和基板(10)之间；接着通过至少局部地加热屏蔽装置(30)来清洁屏蔽装置(30)，以用于从屏蔽装置(30)释放至少部分的附接的源材料。根据另一方面，提供沉积设备，所述沉积设备可根据所述的方法操作。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112458404 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011030871.X C23C 14/04 (2006.01)

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