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一种声表面波微传感器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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一种声表面波微传感器及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种声表面波微传感器及其制备方法，所述微传感器包括：下层基底，下层基底上设有盲槽；上层基底，上层基底上设有第一通孔，第二通孔，连接第一通孔和第二通孔的第一应力释放桥、第二应力释放桥，及第一通孔、第二通孔、第一应力释放桥和第二应力释放桥围成的应力隔离梁，应力隔离梁靠近下层基底侧悬空；盲槽与上层基底密封为压力敏感单元，应力隔离梁与下层基底连接为温度敏感单元，压力敏感单元和温度敏感单元无重合区且其声表面波谐振频率、工作频段均不同；导电层，被配置为转换交流电信号为周期性电磁场并加载至上层基底

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115808260 A (43)申请公布日 2023.03.17 (21)申请号 202211507649.3 G01K 1/14 (2021.01) (22)申请日 2022.11.2

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