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本发明公开了一种CVD法制备碳化钽涂层的方法；涉及碳化钽涂层制备领域；该方法具体步骤如下：对基底材料进行预处理；将预处理后的基底材料放置于CVD炉的反应室中，开启真空泵，将炉内压力抽至100Pa以下，停止真空泵，充入氩气，静置，再次开启真空泵，将炉内压力抽至30Pa以下；加热，达到沉积温度，保温；开启蒸发装置，设置温度与压力，将钽盐升华为气态，通入氩气作为载气，将气态钽盐携带至混合罐中，与氢气和丙烯混合均匀；混合气体进入CVD炉，加热，控制气体压力，沉积，停止通入气体，停止加热，冷却，得到碳化钽
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115948721 A
(43)申请公布日 2023.04.11
(21)申请号 202310246761.4
(22)申请日 2023.03.15
(71)申请人 杭州幄肯新材料科技有限公司
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