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本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。本发明的实施方式涉及一种半导体制造装置及其制造方法。实施方式的半导体装置具备：势垒金属层，其设置在绝缘层的表面；及导电层，其具有设置在势垒金属层的表面的第1金属层、及设置在第1金属层的表面的第2金属层。第2金属层包含与第1金属层相同的金属、及能够将与该金属键合的氟去除的杂质。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112510013 A
(43)申请公布日
2021.03.16
(21)申请号 20201
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