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本发明公开了一种MOS工艺角SPICE模型参数获取方法,包括:根据MOS器件类型将选定工艺角上的参数拷贝到FNSP或SNFP中;将相关工艺参数和电容参数设定为FNSP或SNFP上相应的指定值;将选定工艺角上参数之外的其它参数乘以指定系数,获得FNSP或SNFP上的工艺角参数。本发明在工艺角参数里面引入模型参数电子通道长度偏差/电子通道宽度偏差的差值长度偏差值/宽度偏差值的概念,在不改变物理尺寸的前提下,修正器件的电学尺寸,从而改变器件的电学特性,实现快速提取FNSP/SNFP的工艺角模型。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112507654 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011309907.8
(22)申请日 2020.11.20
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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