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本发明公开了一种气流传感器及制造方法，该气流传感器包括硅麦组件及壳体；硅麦组件包括电路板及硅麦芯片；电路板包括第一表面、与第一表面相对的第二表面及由第二表面贯通至第一表面的第一通气孔；硅麦芯片安装于第一表面并密封地覆盖第一通气孔；壳体包括底壁及与底壁相对的开口，硅麦组件安装在开口中，第一表面朝向底壁并与其形成有间隔，壳体还形成有将间隔与外界相通的至少一个第二通气孔。本发明采用硅麦组件感测气压变化，具有结构简单、可靠性高及一致性好等优点。另外，硅麦组件与壳体相配合，进一步提高产品的可靠性和适用范围
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115778017 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202211585852.2
(22)申请日 2022.12.06
(71)申请人 深圳通感微电子有限公司
地址 51
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