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光学位移计和测量对象的轮廓的测量方法.pdfVIP

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  • 约 34页
  • 2023-05-31 发布于四川
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光学位移计和测量对象的轮廓的测量方法.pdf

    提供一种光学位移计光学位移计和测量对象的轮廓的测量方法，其能够在防止制造成本增加的同时高效地测量测量对象的轮廓。来自测量对象的反射光由受光单元(121)中的沿X2方向配置的多个像素列接收，并且输出多个受光量分布。峰检测单元(1)针对各像素列基于这多个受光量分布来检测Z2方向上的受光量的一个或多个峰候选位置。从针对各像素列所检测到的峰候选位置中基于与同该像素列相邻的其它像素列的峰位置的相对位置关系来选择对轮廓所要采用的峰位置，并且轮廓生成单元(3)基于所选择的峰位置来生成用于指示轮廓的轮廓数据。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115790448 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202211656757.7 (22)申请日 2019.08.12 (30)优先权数据

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