原创力文档- 1
- 0
- 约1.53万字
- 约 16页
- 2023-05-31 发布于四川
- 举报
本发明实施例公开了一种图形化复合衬底、制备方法及LED外延片，该图形化复合衬底的制备方法包括：提供图形化衬底，并在所述图形化衬底的表面形成光刻胶层；采用平面软膜对所述光刻胶层进行压印，以使所述第一光刻胶部的厚度小于所述第二光刻胶部的厚度；去除部分所述第一光刻胶部；在裸露出的所述图形结构的至少顶部区域形成至少一层第一异质层；去除剩余所述光刻胶层，并保留所述图形结构上的所述第一异质层，形成复合图形结构。本发明实施例采用平面软膜压印技术制备图形化复合衬底，实现了图形化复合衬底简单、高效且稳定地制备，利
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115799411 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202211658887.4
(22)申请日 2022.12.22
(71)申请人 广东中图半导体科技股份有限公司
地址
文档评论（0）