原创力文档- 1、本文档共10页，其中可免费阅读9页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
按照本发明的方法涉及在衬底(1)中制造具有膜状的、跨接式或悬伸式的面(2)的微结构。在此，悬伸式的面(2)是由于通过蚀刻过程导致的材料弱化并且通过材料去除来在衬底中产生凹空(3)而获得的。为此，在第一方法步骤中，在例如由玻璃构成的衬底(1)中，借助于激光辐射将修饰部(4)沿着环形闭合的周围轮廓(5)引入衬底(1)中。在第一步骤中，将不耐湿化学蚀刻浴的牺牲层(6)施加到如此修饰的衬底(1)上，并且将耐蚀刻介质的膜层(7)、例如金属层施加到牺牲层(6)上。随后通过未进一步示出的蚀刻介质进行蚀刻作用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112512959 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 201980050660.1 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
您可能关注的文档
- 手柄上带有控制器和显示屏的血管内泵.pdf
- 设置有电流传感器和诊断模块的旋转电机.pdf
- 用于载波聚合的不连续接收组.pdf
- 空间音频参数信令.pdf
- 控制振动压路机的操作的方法.pdf
- 利用电子笔控制操作模式的方法及电子装置.pdf
- 安全气囊用非涂层基布、安全气囊和安全气囊用非涂层基布的制造方法.pdf
- 清洗浴槽.pdf
- 用于在已经经历造血干细胞移植的患者中抑制血液恶性肿瘤复发的活性剂.pdf
- 具有显示屏和光导体来呈现线条光的发光装置、机动车以及用于运行发光装置的方法.pdf
- UB9A0 使用说明书手册 EN R1.1.pdf
- 任天堂_3DS_XL_使用说明书手册.pdf
- lenovo-thinkcentre-m720s-使用说明书手册.pdf
- Dell-Precision-Tower-5000-Series-5810-使用说明书手册.pdf
- sony_hvrv1u_b使用说明书手册.pdf
- UM220-IV NV_使用说明书手册_EN_R3.6.pdf
- hpl-evk5.0-cd-kit-使用说明书手册-en-r1.1.pdf
- sony_hvrz1u_b使用说明书手册.pdf
- 索尼-ps2-scph-30000r_series维修说明书手册_4ed_gh-015.pdf
- UM670A-12_使用说明书手册_EN R1.0.pdf
文档评论（0）