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2023-05-31 发布于四川
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本发明公开一种硅片生产系统，涉及硅片生产技术领域，以提供一种在硅片生产过程中，自动统计各个工序信息的技术方案。包括：控制平台，与控制平台通信的切片设备、脱胶设备、插片清洗设备以及分选设备。切片设备用于向控制平台发送切片物料的切片工序信息；脱胶设备用于向控制平台发送脱胶物料的脱胶工序信息，插片清洗设备用于向控制平台发送脱胶物料的插片清洗工序信息，分选设备用于向控制平台发送硅片的分选工序信息；控制平台还用于根据切片设备的加工需求信息确定切片原料信息，将切片工序信息、脱胶工序信息、插片清洗工序信息和分

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112486110 B (45)授权公告日 2022.05.10 (21)申请号 202011257429.0 (56)对比文件 (22)申请日 2020.11.11

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