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一种装置包括：半导体柱；数字线，其侧向介于所述半导体柱之间；氮化物罩盖，其垂直地上覆于所述数字线；氮化物结构，其上覆于所述氮化物罩盖的表面；重布材料结构，其包括上覆于所述氮化物罩盖及所述氮化物结构的上表面的上部部分、及上覆于所述半导体柱的上表面的下部部分；低K电介质材料，其侧向介于所述数字线与所述半导体柱之间；气隙，其侧向介于所述低K电介质材料与所述半导体柱之间，且具有所述氮化物罩盖的所述上表面下方的上边界；及氮化物电介质材料，其侧向介于所述气隙与所述半导体柱之间。还描述存储器装置、电子系统、及
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112514069 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 201980050615.6 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限
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