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基于Ag基膜系边缘部分环境稳定性提高的镀膜方法，属于光学薄膜领域，目的在于解决Ag基保护膜系反射镜环境稳定性差的问题。本发明的方法包括工装设计方法和镀膜工艺，其中工装包括与镀膜基片环面接触的介质保护膜堆镀膜工装和主反射膜堆镀膜工装两部分；镀膜工艺为两次镀膜方式，第一次将基片装入介质保护膜堆镀膜工装并装配主反射膜堆镀膜工装完成粘着层，Ag层和抗氧化层的镀制，第二次卸掉主反射膜堆镀膜工装并进行离子源轰击后完成介质保护层的镀制。整个镀膜流程前后镀膜基片始终位于介质保护膜堆镀膜工装上，主反射膜堆镀膜工装
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115786858 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202211587989.1
(22)申请日 2022.12.08
(71)申请人 中国科学院光电技术研究所
地址 6
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