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本发明公开了一种三步硫化工艺制备铜锌锡硫薄膜吸收层的方法，属于高质量铜锌锡硫薄膜吸收层制备技术领域，其特征在于，包括如下步骤：S1、在真空退火炉中，放置热舟，在舟上方放置前驱体膜，热舟中放置5g硫粉，抽真空到10‑3Pa后，对热舟进行快速加热，使其20秒到达800℃，而前驱体膜不加热，膜温度低于50℃，保持10分钟，使得硫原子能够均匀扩散到前驱体膜中；S2、将前驱体膜取出放入管式炉中，通入氩气，使得气压保持在1.2个大气压，加热管式炉到540℃‑580℃，保持10分钟，降温；S3、将管式炉气压降
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110867383 A
(43)申请公布日
2020.03.06
(21)申请号 20191
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