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多工序PECVD设备的喷淋组件自动调平方法和装置.pdfVIP

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  • 2023-05-31 发布于四川
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多工序PECVD设备的喷淋组件自动调平方法和装置.pdf

    本申请提供一种多工序PECVD设备的喷淋组件自动调平方法与装置，涉及半导体加工技术领域，多工序PECVD设备包括由多个喷淋头构成的喷淋组件、加热盘、与多个喷淋头一一对应的多个调平组件，各调平组件包括至少三个与对应喷淋头连接的调节件，加热盘包括与喷淋头数量相同的多个晶圆放置区域；所述方法包括：基于预设测量节点对应的水平度信息，确定匹配的喷淋头需要调平的目标晶圆放置区域以及对应的喷淋头调平参数；基于实时工艺进度确定不同工序目标喷淋头匹配的晶圆放置区域是否为目标晶圆放置区域，若是，基于目标喷淋头匹配的

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115874167 A (43)申请公布日 2023.03.31 (21)申请号 202310147056.9 (22)申请日 2023.02.22 (71)申请人 江苏邑文微电子科技有限公司 地址

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