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一种实现等离子体激活电子束物理气相沉积的装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-05-31 发布于四川
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一种实现等离子体激活电子束物理气相沉积的装置和方法.pdf

    本发明公开了一种实现等离子体激活电子束物理气相沉积的装置和方法，包括安装座以及对安装座进行密封的密封盖，安装座的上表面中心转动连接有承载靶材的旋转台，安装座上表面位于旋转台的两侧固定安装有用于防止载体的固定架，安装座上表面固定连接有支撑架，支撑架上转动连接有对靶材蚀刻生成等离子体的脉冲激光器，安装座内设置有供脉冲激光器蚀刻角度间歇调节的调节机构；调节机构包括贯穿安装座并推动脉冲激光器往复摆动的限位柱，安装座内开设有安装腔，安装腔设置有推动限位柱并与限位柱活动连接的活动杆一。本发明具备降低靶材的损

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115786856 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202211488669.0 (22)申请日 2022.11.22 (71)申请人 刘臻东

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