原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请涉及结构超滑领域，公开了一种边缘翘曲的结构超滑部件及其制作方法、组件，包括在超滑岛的上表面形成金属层；超滑岛内具有超滑界面，金属层具有用于使超滑片的边缘向远离超滑界面的方向翘曲的内应力；沿着超滑界面分离超滑岛，超滑片位于超滑界面上方，超滑片和金属层的边缘向远离超滑界面的方向翘曲，得到边缘翘曲的结构超滑部件。本申请中通过制备具有内应力的金属层以及分离超滑岛的方式使得边缘翘曲的结构超滑部件可以实现大规模制备，使得边缘翘曲的结构超滑部件更容易得到，同时，由于边缘翘曲的结构超滑部件包括金属层，具有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115789494 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202211586865.1
(22)申请日 2022.12.09
(71)申请人 深圳清华大学研究院
地址 5180
文档评论（0）