一种用于剥离膜系统的真空抽速装置.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种用于剥离膜系统的真空抽速装置.pdf

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本发明公开了一种用于剥离膜系统的真空抽速装置，包括分子泵、角阀、三通接头、四通接头、微调阀和粗抽泵；所述分子泵的进气端连接剥离膜系统，分子泵的出气端连接三通接头的第一接口，三通接头的第二接口连接角阀的一个接口，角阀的另一个接口连接四通接头的第一接口，四通接头的第二接口连接粗抽泵；三通接头的第三接口连接微调阀的一个接口，微调阀的另一个接口连接四通接头的第三接口，四通接头的第四接口上连接有截止阀。该装置通过角阀和微调阀配合控制真空抽速，有效缩短工作时间，方便控制和调节，同时可降低对操作人员经验的依赖

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112483434 A (43)申请公布日 2021.03.12 (21)申请号 202011471888.9 (22)申请日 2020.12.15 (71)申请人兰州科近泰基新技术有限责任公司