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磁性隧道结的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-31 发布于四川
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磁性隧道结的制备方法.pdf

    本发明提供一种磁性隧道结的制备方法，所述方法包括：提供一衬底，在所述衬底上依次沉积底电极材料层、MTJ材料层、金属硬掩膜层和介质硬掩膜层，其中所述MTJ材料层包括：第一磁性薄膜层、位于所述第一磁性薄膜层上方的绝缘薄膜层以及位于所述绝缘薄膜层上方的第二磁性薄膜层；光刻出掩膜形状，并刻蚀所述介质硬掩膜层和所述金属硬掩膜层；进一步刻蚀所述MTJ材料层，将刻蚀终点停留在所述绝缘薄膜层与所述第一磁性薄膜层的界面；形成第一保护层并刻蚀所述第一保护层，只保留所述第一保护层的垂直部分；以刻蚀后的所述金属硬掩膜层

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112531106 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 20191

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