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与温度区控制系统相关的系统和方法可以包括构造成至少部分抽空的反应物源柜、构造成将固体源化学反应物保持在其中的容器基部以及联接到容器基部的远侧部分的盖。所述盖可以包括一个或多个盖阀。所述系统可以进一步包括多个气体面板阀，所述多个气体面板阀构造成将气体从气体源输送到容器。所述系统可以包括构造成加热一个或多个盖阀的加热元件。所述系统可以包括挡热板，挡热板的第一部分设置于一个或多个盖阀与容器基部之间。挡热板的第二部分可以设置于第一加热元件与多个气体面板阀之间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112501585 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202010951370.9
(22)申请日 2020.09.11
(30)优先权数据
62/900,28
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