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一种非球形硅溶胶的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-31 发布于四川
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一种非球形硅溶胶的制备方法.pdf

    本发明涉及一种非球形硅溶胶的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将硅氧烷与水混合，水解，得到水解液；(2)将所述水解液和母液混合，混合过程中，在体系中加入阴离子聚合物，并维持体系pH≥6，得到晶种；(3)将所述晶种和水解液混合，完成晶种生长，得到所述非球形硅溶胶。本发明所述的制备方法成功合成了呈花生形的颗粒的非球形硅溶胶，其中二氧化硅质量含量高，金属离子含量低，可用于半导体大硅片或晶圆的抛光，并且所述制备方法不局限于实验室小型规模制备，工艺放大后粒径和缔合度仅有较小的变化，放大效应较小，适

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115784240 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202211657222.1 (22)申请日 2022.12.22 (71)申请人 万华化学集团股份有限公司 地址 2

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