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一种三维物镜定位装置及其安装方法.pdfVIP

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  • 2023-06-01 发布于四川
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一种三维物镜定位装置及其安装方法.pdf

    本发明涉及精密致动技术领域，具体而言，涉及一种三维物镜定位装置及其安装方法。包括物镜、纵向致动机构、第一横向致动机构、第二横向致动机构、纵向精聚焦机构和二维扫描台。本发明通过纵向致动机构、第一横向致动机构和第二横向致动机构堆叠排列，并将纵向精聚焦机构集成在纵向致动机构内部的方式使得整体装置的结构更为紧凑稳固且占用体积小。同时，本发明采用改良后具备高驱动能力的潘式步进电机结构，使得三维定位移装置的定位精度高，移动范围大，且负载承受能力强。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112526699 B (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202010922734.0 (56)对比文件

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