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- 2023-06-01 发布于四川
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本发明提供一种能高精度地检测衬底收容器内的衬底在前后方向上的位置的衬底搬送装置。本发明涉及一种衬底搬送装置及衬底搬送方法。衬底搬送装置(TID)具有机械手(1)、进退机构(31)、升降机构((32))、移动机构(33)及检测部(2)。进退机构(31)使机械手(1)在前后方向移动，从而使机械手(1)进入到衬底收容器及从衬底收容器收回机械手(1)。升降机构(32)使机械手(1)上升，利用机械手(1)从下方托起衬底(W)。移动机构(33)使机械手移动到与衬底收容器相对的位置。检测部(2)与机械手(1)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112530847 A
(43)申请公布日 2021.03.19
(21)申请号 202010694136.2
(22)申请日 2020.07.17
(30)优先权数据
2019-1706
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