电子器件和制造该电子器件的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-01 发布于四川
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提供了一种电子器件和制造该电子器件的方法。该电子器件包括在衬底和栅电极之间的铁电晶化层以及在衬底和铁电晶化层之间的防晶化层。铁电晶化层至少部分地晶化并包括具有铁电性或反铁电性的电介质材料。此外,防晶化层防止铁电晶化层中的晶化朝向衬底扩散。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112531029 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 20201

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