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本发明公开了一种关节轴承内圈外表面沉积类金刚石薄膜的方法，步骤如下：首先对关节轴承内圈表面进行清洗；将清洗后的关节轴承内圈放入真空腔内，抽真空至2×10‑3Pa；然后通入氩气，打开离子束，打开脉冲偏压，对关节轴承内圈表面进行离子清洗；向真空腔内通入氩气，对关节轴承内圈附加负偏压，磁控溅射钛靶沉积钛过渡层；之后向真空腔内通入氩气和乙炔，打开离子束和偏压电源，在钛过渡层表面磁控溅射碳靶沉积类金刚石薄膜；最后待真空腔内温度降到室温后把关节轴承内圈取出。本发明改善了薄膜的承载能力，提高了关节轴承的使用寿
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112553584 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011219357.0
(22)申请日 2020.11.04
(71)申请人 河北汉光重工有限责任公司
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