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一种可浸润管脚基板结构及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-01 发布于四川
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一种可浸润管脚基板结构及其制作方法.pdf

    本发明提出了一种可浸润管脚基板结构及其制作方法，方法包括：准备承载板，在承载板上制作铜柱和第二光阻层，在铜柱表面制作保护层，在保护层表面电镀出铜层通槽，去除第二光阻层后在承载板上侧压合绝缘层，将铜层通槽的上侧外露于绝缘层，制作与通槽铜层相连的第二线路层，分离承载板和绝缘层后，依次蚀刻铜柱和保护层，制作与铜层通槽下侧相连的第一线路层得到基板。根据本实施例的技术方案，能够以铜柱作为基础，在第二窗口中围绕保护层表面电镀出铜层通槽，蚀刻铜柱时，保护层对铜层通槽的内壁隔离，确保有效确保铜层通槽的铜层连续性

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116193745 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202310296959.3 (22)申请日 2023.03.23 (71)申请人 珠海越亚半导体股份有限公司 地址

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