- 1、本文档共34页,其中可免费阅读33页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一运动电极装置、可运动支架装置和应用,其中所述可运动支架装置包括可运动支架、载台和电极,其中所述可运动支架架能够带动所述载台绕第一轴线转动,并且所述载台被可自转地安装于所述可运动支架,其中所述电极被设置于所述可运动支架,以和所述可运动支架一同转动,并相于所述可运动支架放电,以有利于镀膜的均匀性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112538618 B
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 201910893117.X C23C 16/458 (2006.01)
(22)申请日
文档评论(0)