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静电防护指南第1页/共65页 第1节 防静电系统的构成微电子生产与使用环境中的防静电系统大体分为硬件部分和软件管理部分，在实际工作中忽略任何一个方面或者是一个环节，都有可能导致静电防护的失败或效果不显著。（一）硬件部份1、人体静电防护用品：防静电工作服、防静电鞋（鞋束）、手腕带、手套（指套）、帽子、袜子。2、防静电物流传递用品：防静电包装（盒、箱、托盘等）、充填材料（泡沫塑料、发泡材料）、运转车、周转器具、存放柜（架）、传输带等。第2页/共65页 3、防静电地坪：地坪可以是多种类型，像PVC地板砖，高架防静电活动地板、环氧树脂类、橡胶（塑）地面、水泥类等。4、防静电操作系统：工作台、工作椅、工具类（电烙铁、吸锡器、分路棒、维修工具、ESD防护夹具）等。5、防静电接地：防静电独立接地系统或其它几种接地共用系统。6、环境控制系统：温度和湿度控制设备、环境洁净度控制系统。第3页/共65页 7、专用生产装联设备：采取防静电措施的生产装联设备。8、特殊防静电用具（品）：各类静电消除器（离子风静电消除器、静电消除刷等）、防静电剂（喷剂、腊、胶等）。这类用品配置或使用并不是必需的，根据实际需要来确定。9、静电测量（监控）系统：静电电压（量）表、高阻测试仪、静电衰减时间测试仪、静电屏蔽性能测试仪、接地电阻测试仪等配套的测试用具和各种电极。第4页/共65页 （二）软件部分1、培训大纲与人员培训；2、防静电工艺和设计文件；3、有关防静电专业标准；4、规章制度和操作规程；5、完整质量保证体系（包括检查和试验）；6、各种防静电警示标志；7、贮存和运输要求。第5页/共65页 第2节 防静电装备（产品）与防静电工作区（一）防静电工作区 Electrostatic Discharge Protected Area （EPA）定义配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位，具有确定边界和专门标记的适于从事静电防护操作的场所叫防静电工作区。凡是操作或生产静电放电敏感电子产品（元器件）的场所，都应视为防静电工作区。在该区域内不论是硬件还是软件管理都应符合防静电系统构成的要求。同时在工作区内任一指定空间所允行的对大地（接地）的静电电位值不超过±100伏（A级），或者不超过±1000伏（B级）。第6页/共65页 （二）防静电装备（用品）1、防静电地坪防静电工作区地面应具有静电耗散性能所以又叫防静电地坪。种类有橡胶（塑）、PVC地板块、环氧树脂、高架活动地板（铝制、钢质、木质等）和水泥类等。防静电地坪主要作用是耗散人体和防静电装备的静电。地面一般设置接地网络，并和防静电接地系统相连接。静电泄漏电阻小于1×108欧。2、防静电工作服防静电工作服采用导电纤维和棉等混纺制成，也有用渗碳或导电合成纤维布制作。当与其它物体摩擦时，产生的静电通过导电纤维与人体的接触泄露或通过导电纤维间的电晕放电耗散，从而防止服装的静电积累。第7页/共65页 在使用防静电工作服时应注以下几点：一般不使用非防静电织物作衬里。必须使用时，所用衬里不得超过总衬里面积的20%。操作人员在防静电工作区时不得穿脱服装。整件服装一般不得使用任何金属附件。必须使用时应不直接外露到服装表面，以免金属放电。防静电工作服结构应为“三紧式”而且耐磨性较好不起尘。穿用工作服时必须与防静电鞋配套使用，并每隔一年按国家标准对其进行复检，当带电量超过规定值时，则不得继续使用。纯棉服装在相对湿度低于40%环境中，不适于作防静电工作服。第8页/共65页 3、防静电鞋（导电鞋）该鞋鞋底是用加入导电材料的合成橡胶（橡塑）制成，用以将ESDS器件操作人员所带静电荷泄露大地，防止人体静电积极累。国家标准GB4368-95《防静电胶底鞋，导电胶鞋安全技术条件》规定的防静电鞋鞋底电阻值为1×105～1×109欧，导电鞋电阻不大于1× 105 欧。防静电鞋和导电鞋在使用方面区别是，防静电鞋可以用于有电气设备的环境中，能预防220伏电压对人体的电击，而导电鞋则不能用于有触电危险的环境中。在穿用过程中，鞋底部不得沾有任何绝缘物，并且禁止穿用绝缘性袜子。第9页/共65页 4、防静电腕带和脚带操作ESDS器件的人都应使用防静电腕带或脚带，腕带和脚带的作用是防止人体双脚离地时与地绝缘，迅速将人体静电荷泄露到大地。一般的防静电腕带由带扣、带子和接地连接线组成。带子、带扣和接地连接线具有良好的电气接触。为了保证操作人员安全，通常在腕带的连接线上串有一只1兆欧电阻，以限制人体触电时流过的电流不大于5毫安。使用腕带时，要保证腕带和人手腕、接地连接线和地线良好的接触。脚带和防静电鞋的作用相同故不作介绍了。第10页/共65页 5、防护指套操作ESDS的器件的人所使用的指套，是用加入抗静电剂的乳胶制成，用以预防ESDS器件因不等电位造成损失。指套的表面和体积电阻应低于1