原创力文档- 5
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- 2023-06-01 发布于四川
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本发明提供抗大气载冲击的磁悬浮分子泵控制方法、装置及设备，包括：获取磁悬浮分子泵转子位移、电机电流及泵内真空度；基于磁悬浮分子泵转子位移、电机电流及泵内真空度，判断是否出现大气载冲击情况；在磁悬浮分子泵出现大气载冲击时，获取磁悬浮分子泵当前转子位移；基于磁悬浮分子泵当前转子位移，判断磁悬浮分子泵是否出现转子失稳跌落；在磁悬浮分子泵出现转子失稳跌落时，切断磁悬浮分子泵市电供电，控制磁悬浮分子泵的磁轴承磁极吸死转子，使得磁悬浮分子泵转子转速在设定时间内降至零。从而能够无需对磁悬浮分子泵机械结构进行改
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116181675 A
(43)申请公布日 2023.05.30
(21)申请号 202211695082.7
(22)申请日 2022.12.28
(71)申请人 北京中科科仪股份
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