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本发明的目的在于提供一种能够合适地搬运基板的基板处理装置以及基板搬运方法。本发明涉及一种基板处理装置(1)以及基板搬运方法。手部(61)具有基座部(65)、吸引部(68)、第一接受部(82)、第二接受部(83)以及接受部驱动部(86)。吸引部(68)安装于基座部(65)。吸引部使气体沿基板(W)的上表面(16)流动，以不与基板接触的方式将基板向上方吸引。第一接受部以及第二接受部被基座部支撑。第一接受部以及第二接受部配置在被吸引部吸引的基板的下方。第一接受部以及第二接受部能够接受基板的下表面。接受
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112542417 A
(43)申请公布日 2021.03.23
(21)申请号 202010823740.0
(22)申请日 2020.08.17
(30)优先权数据
2019-1715
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