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- 2023-06-01 发布于四川
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本发明公开了一种微流控芯片及其驱动方法,微流控芯片包括多个沿第一方向和第二方向行列排布的像素区域,所述第一方向与所述第二方向交叉;第一衬底;多个驱动电极,位于所述第一衬底上,所述驱动电极位于所述像素区域内,用于驱动液滴移动;超声模块,所述超声模块与至少一个所述像素区域交叠。本发明实施例通过在微流控芯片中设置超声模块,并且超声模块与至少一个像素区域交叠,可以通过超声模块产生超声波对该像素区域的污渍或灰尘进行超声振动,并通过驱动液滴移动通过该像素区域,将污渍与灰尘带走,进而实现对该像素区域的清洁,以
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116174071 A
(43)申请公布日 2023.05.30
(21)申请号 202310342807.2
(22)申请日 2023.03.31
(71)申请人 上海天马微电子有限公司
地址 2
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