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一种集成电路测试过程中自动清洁夹具的装置.pdfVIP

一种集成电路测试过程中自动清洁夹具的装置.pdf

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    本发明公开了一种集成电路测试过程中自动清洁夹具的装置，根据夹具的形状，选择在夹具本体上开设数个圆孔，圆孔内穿过气管，所述气管用于通入抗氧化气体。通过设置这个固定装置，测试过程中，自动清洁是在线的，无效过多的人为干预，而且设置和操作都相对简单，可以有效的延长夹具的使用性能和寿命，可以有效的提高测试良率、提升测试产能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112557873 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011402992.2 (22)申请日 2020.12.04 (71)申请人 上海华岭集成电路技术股份有限公

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