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本发明公开了一种针对色散型成像光谱仪的检测方法及装置,所述方法首先将标准球面镜安装在激光斐索型干涉仪的前端;打开干涉仪输出标准球面波;通过调整被测光谱仪光学系统和后端的标准球面反射镜,使光路原路返回;调整所述干涉仪前端的标准球面镜,使所述干涉仪的探测器上得到干涉图;将所述干涉仪得到的测试结果与用于参考的光学软件输出结果进行比对,判断其误差是否在10%以内;若小于10%,则表明所述被测光谱仪光学系统成像质量良好;若大于10%,则对所述被测光谱仪光学系统重新装调再检测。该方法及装置基于移相干涉测量原
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112525343 A
(43)申请公布日 2021.03.19
(21)申请号 202011252958.1
(22)申请日 2020.11.11
(71)申请人 中国科学院空天信息创新研究院
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