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本发明的固体物供给装置(3)具备:旋转盘(66),其包括容纳固体物(S)的多个容纳孔(66);支承构件(63),其配置在旋转盘的下方;以及引导构件(81),其配置在旋转盘的周缘部的上方。支承构件包括从引导构件的上游侧连接至引导构件的下游侧的台阶部(63E)和位于相对于台阶部而言的上游侧的部分。支承构件中的台阶部与旋转盘的下表面的间隔(H2)被确定为能够使固体物在引导构件的下方从上游侧移动至下游侧。此外,该间隔(H2)比支承构件中的上述部分与旋转盘的下表面的间隔(H1)大。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116193990 A
(43)申请公布日 2023.05.30
(21)申请号 202180063646.2 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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