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本发明包括一种用于减少显微试样的EDS分析中的拓扑伪影的方法、以及一种电子显微镜系统和一种计算机程序产品。该方法是用电子显微镜系统执行的，其包括：生成电子束的电子柱；扫描系统；检测X射线信号的EDS检测器；固持该试样的可移动台，该台被配置为至少沿轴线x和y移动和绕旋转轴线旋转，该台被配置为执行计算中心旋转和/或同心旋转。该方法包括以下步骤：a)选择试样上的相关区域(ROI)，同时将该ROI相对于EDS检测器保持在第一取向；b)执行第一EDS分析，获得结果A；c)使该试样台绕该旋转轴旋转角度α，使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112577985 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 202010931769.0 G01N 23/2204 (2018.01)
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