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    本公开实施例提供一种与高架运输系统相关联的支撑构件系统。支撑构件系统为高架运输系统提供安全特征，通过所述安全特征，高架运输系统能够避免损坏容置在由高架运输系统无意释放的晶圆匣内的晶圆。支撑构件系统能够防止此种释放的匣冲击地面或位于高架运输系统之下的工具。支撑构件系统以晶圆匣为目标，所述晶圆匣的尺寸不同于高架运输系统最初设计用于运输的晶圆匣的尺寸。本公开实施例还提供用于接收、存储及递送不同类型的晶圆匣的储料器系统。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112582319 A (43)申请公布日 2021.03.30 (21)申请号 202011014461.6 (22)申请日 2020.09.24 (30)优先权数据 62/907,44

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