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本发明公开了一种用于化学湿法清洗的高效干燥方法及系统,涉及干燥控制领域,其中,所述方法包括:生成光学元件表面图像采集结果;生成残留液特征参数;根据风力干燥设备,上传干燥控制参数集合;将干燥控制参数集合发送至干燥控制模块,生成干燥控制参数优化向量空间;将残留液分布位置特征和残留液几何特征输入干燥控制参数优化向量空间,生成干燥控制参数优化结果;并将其发送至控制终端的显示界面,生成第一反馈信息;根据确认干燥指令将待干燥光学元件输送至风力干燥设备的预设干燥区域。达到了提高化学湿法清洗的光学元件的干燥控制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115793437 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202211252718.0
(22)申请日 2022.10.13
(71)申请人 北京市永康药业有限公司
地址 10
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