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基板配置数据的显示方法具有：设定工序，分别设定决定向基板保持件装填的预定的至少基板的配置的移载参数和收纳向所述基板保持件装填的预定的所述基板的载体信息；制作工序，根据该设定的所述移载参数、所述载体信息，制作在使所述基板向所述基板保持件装填的情况下的基板配置数据；显示工序，在显示所述基板配置数据时，至少显示表示所述基板被装填于所述基板保持件的状态下的所述基板的配置的数据。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116195038 A
(43)申请公布日 2023.05.30
(21)申请号 202180063598.7 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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